Zastosowania w przemyśle półprzewodnikowym

Przedsiębiorstwa branży półprzewodnikowej zajmują się produkcją wyrobów półprzewodnikowych. Charakterystyczną cechą półprzewodników jest to, iż ich oporność elektryczna występuje pomiędzy metalami i niemetalami. Półprzewodnikami są przykładowo krzem i selen. Oferta tego przedsiębiorstwa obejmuje procesory i chipy pamięciowe, które wytwarzane są w dużych ilościach na płytkach krzemowych.

LISTA KONTROLNA POBIERANIA DANYCH WYJŚCIOWYCH

Oczyszczanie ścieków w przemyśle półprzewodnikowym

- Oczyszczanie ścieków HF

W trakcie procesów trawienia używane są duże ilości kwasu fluorowodorowego, który znajduje się potem w ściekach. Dlatego też ścieki muszą być oczyszczane poprzez strącanie i flokulację. Poprzez dodawanie mleka wapiennego znajdujące się w ściekach fluorki zostają strącone w postaci fluorków wapnia. Powstający w ten sposób osad fluorku wapnia zostaje odwodniony i zutylizowany.

Oczyszczanie ścieków z miedzi

Ścieki powstające w trakcie polerowania chemiczno- mechanicznego CMP powierzchni płytek zawierają ścier i różne materiały pomocnicze z zawartością miedzi oraz duże ilości cząstek stałych, które powstają w trakcie procesu szlifowania.

Poprzez strącanie i flokulację cząstki te usuwane są ze ścieków. Powstający w ten sposób osad zawierający metale zostaje odwodniony i zutylizowany. Podłączone do instalacji urządzenie wymiany jonowej do eliminacji pozostałych stężeń metali ciężkich redukuje stężenie miedzi do poziomu poniżej 0,5 mg/l.

Oczyszczanie ścieków z arsenu

Związki arsenu używane są do domieszkowania i jako elementy składowe półprzewodników i stosowane są na dużą skalę.

Oczyszczanie ścieków zawierających arsen odbywa się w zbiornikach wsadowych i jest odpowiednio dostosowane w zależności od występującego związku arsenu (oksydacja, strącanie siarczkowe). W podłączonej prasie filtracyjnej komorowej odbywa się filtracja końcowa za pomocą ciągu filtracyjnego adsorpcyjnego.

Oczyszczanie ze związków kompleksowych

Klasycznym obszarem pochodzenia ścieków z zawartością związków kompleksowych są procesy wywoływania i odpędu.

Oczyszczanie ścieków ze związków kompleksowych odbywa się w ściśle rozdzielonych procesach w zbiornikach wsadowych.

Bardziej szczegółowe informacje dotyczące technologii:

Instalacje do oczyszczania wsadowego
Urządzenie do oczyszczania osadu
Filtracja końcowa i oczyszczanie końcowe
Stacje chemikaliów
Sterowanie instalacją

Uzdatnianie wody dla przemysłu półprzewodnikowego

Procesy produkcyjne w zakresie wytwarzania półprzewodników wymagają dużych ilości uzdatnionej wody o najwyższej czystości. Ponadto urządzenia dodatkowe takie jak kolumny chłodnicze lub urządzenia do przemywania powietrza oczyszczoną wodą technologiczną wymagają ponadto zasilania wodą.

Woda o najwyższej czystości wytwarzana jest w zależności od jakości wody wejściowej za pomocą instalacji odwróconej osmozy lub systemów wymiany jonowej.

Dodatkowo do wytwarzania wody o przewodności poniżej 1,5 µS/cm stosowane są urządzenia do elektrodejonizacji (EDI) lub wymienniki ze złożem mieszanym.

Aby zapobiec nadmiernemu tworzeniu się zarodków w dejonacie używa się systemów dezynfekcyjnych promieniowaniem UV.

Do oczyszczania częściowego na zamówienie mogą zostać zainstalowane systemy cyrkulacyjne ze złożem mieszanym celem uzyskania przewodności poniżej 18 Mohm na cm, połączone ze stopniem filtracji absolutnej (<0,1 µm) i promiennikiem dezynfekcyjnym UV.

Bardziej szczegółowe informacje dotyczące technologii:

Filtracja wstępna
Urządzenia zmiękczające
Instalacje wymiany jonowej dla potrzeb pełnej demineralizacji
Instalacje osmozy odwróconej
Elektrodejonizacja (EDI)
Instalacje wymiany jonowej ze złożem mieszanym
Filtracja UV